ZnO氧化鋅基薄膜的研究進展迅速,材料性能已可與ITO相比擬,結構為六方纖鋅礦型。其中鋁摻雜的氧化鋅薄膜AZO研究較為廣泛,它的突出優勢是原料易得,制造成本低廉,無毒,易于實現摻雜,且在等離子體中穩定性好,很快成為新型的光伏TCO產品。
氧化鋅(ZnO)材料資源豐富,且作為透明電極的性能優越,因此作為使用稀有金屬的平板用ITO(摻Sn氧化銦)膜的替代材料受到廣泛的關注。另外,氧化鋅在透明性和表面平坦性方面具有比ITO更為優越的特性,可望拓展新的應用,本公司采用濺射法,可支持GZO(摻Ga ZnO)和AZO(摻Al ZnO)的成膜。