Large area transparent conductive film glass production line 太陽能光伏導電膜生產線
本設備廣泛運用在太陽能電池上,透明導電膜作為減反射層和透明電極使用,可以提高太陽能的轉換效率,降低成本,無毒環保,膜層穩定,同時可以消除立式生產線無法大規模生產的弊端,可以大大提高生產量。
設備采用大面積濺射技術,鍍膜機寬度大,可以同時處理很多基片,特別適用于極低成本、高生產率應用,該系統也適用于其他小尺寸和非常薄的基片。
由于采用模塊化設計,鍍膜線可以配備旋轉磁控管,以濺射沉積高性能透明導電氧化物膜層或者多種其他材料,例如金屬和金屬氧化物,可以在真空狀態下或在基片進入真空狀態之前對基片進行預處理,比如對基片進行清洗或蝕刻。
優勢:
?采用閉環控制器的高反應濺射率
?出色的氣體分離技術
?靈活配置以滿足特定的生產需求
?3、5或7倍微調氣體分布以提高涂層均勻性
?優化的磁性配置,具有出色的均勻性和利用率
?兼容工業機器人的自動裝卸