ITO/ISI horizontal inline coating machine ITO/ISI臥式連續鍍膜生產線
該設備是一款大型平面磁控濺射連續生產設備，采用模塊化設計，方便日后擴展升級；配備多組大型磁控陰極，可適用于多種膜系結構的組合；全自動化控制，高穩定性傳動系統，可與機械手無縫對接，實現連續穩定的流水線作業；生產節拍快，產量大。
優勢：
?采用閉環控制器的高反應濺射率
?出色的氣體分離技術
?靈活配置以滿足特定的生產需求
?3、5或7倍微調氣體分布以提高涂層均勻性
?優化的磁性配置，具有出色的均勻性和利用率
?兼容工業機器人的自動裝卸
