蒸發(fā)
電子束蒸發(fā)電阻蒸發(fā)
蒸發(fā)工藝技術能讓工件金屬化，在真空條件下沉積鋁薄膜層，可以涂覆不同類型的產品。結合先進的過程控制技術來控制涂層自身的應力，溫度分布或光學特性，匯成真空蒸發(fā)源可實現(xiàn)金屬，電介質和TCO的精確沉積，適用于各種應用。
工藝技術
HCVAC-PVD
