光學(xué)真空鍍膜機我們正常情況稱之為高端真空鍍膜機，它的價格和配置都比常規(guī)鍍膜機要求高一些，鍍膜的精度也會要求更嚴格，那么光學(xué)真空鍍膜機結(jié)構(gòu)和工作原理是怎樣的呢？下面匯成小編詳細和大家介紹一下，希望能幫助到大家：
光學(xué)真空鍍膜機由真空系統(tǒng)、蒸鍍系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)和電氣系統(tǒng)組成，其中真空系統(tǒng)由真空罐和排氣系統(tǒng)組成。真空罐是鍍膜機的主體，鍍膜過程就是在真空罐中完成的，通過連接閥將真空罐和排氣系統(tǒng)相連。為了防止空氣分子對濺射離子的影響、提高膜層的質(zhì)量，在工作時，必須將光學(xué)元件和離子源置于真空環(huán)境中。排氣系統(tǒng)主要由機械泵、羅茨泵和真空泵組成，負責排出真空罐內(nèi)的氣體、使罐內(nèi)形成真空環(huán)境。蒸鍍系統(tǒng)主要指成膜裝置部分，鍍膜機器的成膜裝置有很多種，如電阻加熱、電子槍蒸發(fā)、磁控濺射、射頻濺射、離子鍍等。
光學(xué)真空鍍膜機通過真空濺射的方式在光學(xué)元件上涂鍍薄膜， 以此改變元件對入射光線的反射率和透過率。同時，為了盡可能地減少元件表面的反射損失、提高成像質(zhì)量，往往涂鍍多層薄膜。光學(xué)元件鍍膜后，光在多層膜層的表面進行多次反射和透射，形成多光束干涉，通過控制膜層的厚度和折射率，可以得到不同的強度分布。利用這一原理可以制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉濾光片等，以滿足更加復(fù)雜的需求。
